真空燒結爐設計構思新穎，操作方便，結構緊湊，用于半導體元器件及電力整流器件的燒結工藝，可進行真空燒結，氣體保護燒結及常規(guī)燒結，是半導體設備系列中一種新穎的工藝裝備，主要是在真空或者是保護氣氛的條件下，通過利用中頻感應加熱的原理，讓硬質的合金刀頭以及各種金屬粉末壓制體實現(xiàn)燒結的一個成套設備，是專門為硬質合金、陶瓷材料以及金屬的工業(yè)生產而設計的，它是在真空環(huán)境里面對被加熱物體進行保護性燒結的爐子。

　　主要優(yōu)點：

　　1.減少了氣氛中有害成分(水、氧、氮)對產品的不良影響。例如要使電解氫氣中含水量降至一4?！娴穆饵c是相當困難的，而真空度只要達到133Pa就相當于含水量為一4。℃的露點。而獲得這樣的真空度是并不困難的。

　　2.對于不宜用還原性或惰性氣體作保護氣氛(如活性金屬的燒結)，或容易出現(xiàn)脫碳、滲碳的材料均可用真空燒結。

　　3.真空可改善液相對固相的潤濕性，有利于收縮和改善合金的組織。

　　4真空燒結有助于硅、鋁、鎂、鈣等雜質或其氧化物的排除，起到凈化材料的作用。

　　5.真空有利于排除吸附氣體、孔隙中的殘留氣體以及反應氣體產物，對促進燒結后期的收縮有明顯作用。如真空燒結的硬質合金的孔隙度要明顯低于在氫氣中燒結的硬質合金。

　　6.真空燒結溫度比氣體保護燒結的溫度要低一些，如燒結硬質合金時燒結溫度可降低10。~150℃。這有利于降低能耗和防止晶粒長大。

　　

　　真空燒結爐的安全操作規(guī)程：

　　1.中頻電源、真空爐爐體、感應圈之冷卻水源——蓄水池之水必須充滿，水中不得有雜質。

　　2.開動水泵，使其中頻電源，真空爐感應圈、爐體冷卻系統(tǒng)水循環(huán)正常，并調整水壓控制在規(guī)定值。

　　3.檢查真空泵電源系統(tǒng)，皮帶盤皮帶松緊，真空泵油是否位于油封觀察孔中線。檢查妥后，人工轉動真空泵皮帶盤，如無異常，可在關閉蝶閥的情況下，啟動真空泵。

　　4.檢查真空爐體內情況，要求真空爐體內一級衛(wèi)生，感應圈絕緣良好，密封真空膠帶具有彈性，尺寸合格。

　　5.檢查真空爐體的杠桿手把啟動是否靈活。

　　6.檢查轉動式麥氏真空計是否合乎要求。

　　7.檢查石墨坩堝，裝爐配件是否齊全。

　　8.在以上準備就緒后，接通電源，中頻電源合閘，按中頻啟動規(guī)則，試啟動變頻，成功后停止變頻，方可開爐。

　　9.真空爐體上蓋的觀察、測溫孔，每次開爐均需清潔處理，以便觀察和測溫。

　　10.裝爐時應根據(jù)不同燒結產品，采取相應裝爐方式。按有關材質裝爐規(guī)則裝盤，不得隨意更改。

　　11.為了保持恒溫，防止熱輻射，發(fā)熱坩堝上加二層碳纖維，再罩上隔熱屏。

　　12.墊好真空密封膠帶。

　　13.操作杠桿手把，轉動真空爐頂蓋與爐體密切重合，放下頂蓋，并鎖好固定螺母。

　　14.徐徐打開蝶閥，抽爐體空氣，至真空度達到規(guī)定值。

　　15.在真空度達到規(guī)定要求后，開始啟動變頻，調整中頻功率，按有關材質的燒結規(guī)定操作;升溫、保溫冷卻。

　　16.燒結完畢后，停止變頻，按停止變頻開關，逆變停止工作，斷開中頻電源分閘與斷開電源總閘。

　　17.從爐體觀察孔觀察爐膛發(fā)黑后，先關閉真空泵蝶閥與斷開真空泵電流，再接自來水繼續(xù)冷卻感應圈和爐體，再停水泵。

　　18.中頻電壓750伏有觸電危險。在整個操作和檢查過程中，要注意操作安全，不要用手接觸中頻電柜。

　　19.在燒結過程中，隨時從爐體側面觀察孔觀察感應圈是否發(fā)生放弧現(xiàn)象，如發(fā)現(xiàn)異常現(xiàn)象，應立即報告有關人員處理。

　　20.啟動真空蝶閥應緩慢，否則會因抽氣過急而冒油，帶來不良后果。

　　21.正確使用轉動式麥氏真空計，否則會造成真空讀數(shù)誤差或因操作過急而使水銀溢出造成公害。

　　22.注意真空泵皮帶盤安全運行。

　　23.在墊真空密封膠帶，蓋爐體頂蓋時，注意防止壓手。

　　24.凡在真空條件下，容易揮發(fā)影響真空衛(wèi)生，造成管道堵塞、真空泵臟化的工件或容器，不得入爐。

　　25.凡產品加有成型劑(如油或石蠟)，必須脫掉方可入爐燒結，否則會造成不良后果。

　　26.全部燒結過程中，要注意水表壓力范圍和冷卻水循環(huán)，以免發(fā)生事故。